08 Postaja Maseveon + LC razplinjevalna enota

Masevon Station Chamber Up-Down + + LC Degassing Unit

1. Einführung:
1. Dieses Dokument beschreibt die funktionalen Anforderungen bezüglich einer:
1.1. LC-Tray-Entgasungskammer
1.2. Die LC-Tray-Entgasungskammer ist eine (gesteuerte Vakuumkammer), in der ein Aluminiumtray mit LC-Flüssigkeit über einen bestimmten Zeitraum in einer Vakuumumgebung entgast wird (d. h. eingeschlossene Luft wird entfernt).
Vakuumprofil:
1.1. Drucksollwerte frei einstellbar zwischen 1,103 und 1,10-3 mbar
1.1.1. Messbereich: 1,103 – 5,10-4 mbar
Crodswam Saspfx Agteh
1.2. Zeitsollwerte frei einstellbar zwischen 1 und 600 min pro Schritt
1.2.1. Entgasungsschritt (D) kann wenige Minuten bis zu mehreren Tagen dauern
1.3. Evakuierungs- und Belüftungsraten müssen regelbar sein
1.4. Der Evakuierungszyklus (A – D) läuft vollautomatisch ab
1.4.1. Der Belüftungsschritt (E) muss manuell (durch den Bediener) aktiviert werden
1.5. Typisches Entgasungsprofil
2. Innenraum:
2.1. Hochglanzpolierte Prozesskammer innen aus Edelstahl (alternativ Aluminium)
2.1.1. Leckagerate wird separat festgelegt
2.2. Ausziehlade für LC-Tray zur einfachen (De-)Montage des LC-Trays (keine Stoß- oder Ruckbewegungen zulässig), vgl. Abschnitt 2 LC-Tray-Maße und Anhang 1
2.3. LC-Tray muss jederzeit waagerecht (im Lot) stehen, um Auslaufen der LC-Flüssigkeit zu verhindern
2.4. Kammer muss für Reinigung und (De-)Montage des LC-Trays leicht/schnell zugänglich sein
2.5. Innenflächen der Kammer müssen poliert sein, um die Reinigung zu erleichtern und Kontamination sowie Feuchtigkeitsansammlungen zu vermeiden
2.6. Überwachungsfenster zur Beobachtung des Entgasungszyklus, z. B. Überwachung des Verhaltens der LC-Flüssigkeitsoberfläche im LC-Tray
2.7. Es dürfen keine Prozesskontaminationen durch das Kammermaterial (bzw. deren Verarbeitung) entstehen

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