Naprava za mokro obdelavo rezin (waferjev)

Robotechnik Europe OPTIwet ST30

Naprava za mokrokemično obdelavo rezin do 12 inč, substratov do X/Y 9 inč/9 inč, samostojno ohišje, procesni moduli, PP procesna komora, 2 programski medijski roki, hitrost vrtenja 1-4000 obr/min, pospeševalna rampa 1-3000 obr/min, čas vrtenja 1-999 s, izpušni procesni lijak 2x DN110, komora 2x DN110, ohišje 1x DN110, krmiljenje 1x DN110 (vsak 200 m³/h), CDA 8+/-2 bar, vakuum -0,8+/-0,2 bar, dušik 4,0+/-0,5 bar, 3 izpusti medijev, škatla za odpadke za 2 koncentrirana odpadka, škatla za reagente s tlačno posodo, 4 Julabo termostatske kopeli. Naprava je bila razstavljena ob demontaži. Ogled možen po dogovoru.
Nlsdoxzii Ujpfx Abzei

Oglas je bil preveden samodejno, zaradi česar je morda prišlo do napak pri prevodu.